728x90 실리카1 CMP Slurry, 연마재 실리카의 제조방법과 특징 CMP(Checmical Mechanical Planarization) 슬러리의 구성 성분 중 하나인 실리카는 반도체 제조 공정에서 사용되는 연마재로 널리 활용됩니다. 아래에서는 실리카의 제조 방법과 특성을 상세히 설명하겠습니다. 제조 방법: 건조법: 실리카는 건조법을 통해 제조될 수 있습니다. 일반적으로 실리카 전구체인 실리카겔을 사용합니다. 실리카겔은 균일한 입자 크기와 분산도를 갖고 있으며, 유기 용매에서 건조시킴으로써 실리카 입자를 얻을 수 있습니다. 수화법: 실리카를 수화법으로 제조할 수도 있습니다. 이 경우, 실리카 전구체를 수화시킨 후 여러 단계의 처리 과정을 거쳐 실리카 입자를 형성합니다. 이 방법은 입자 크기와 분산도를 더욱 정교하게 조절할 수 있습니다. 열분해법: 일부 실리카 제조 공정.. 2023. 6. 4. 이전 1 다음 728x90