728x90 CMP slurry1 CMP slurry, 연마입자 세리아의 제조방법과 특성 CMP(Checmical Mechanical Planarization) 슬러리의 구성 성분 중 하나인 세리아(Ceria)는 반도체 제조 공정에서 사용되는 연마재로 널리 활용됩니다. 아래에서는 세리아의 제조 방법과 특성을 상세히 설명하겠습니다. 제조 방법: 공업적인 제조: 세리아는 주로 산업적인 제조 과정을 통해 얻어집니다. 세리아 전구체로부터 세리아 입자를 생성하는 공정은 다양한 방법으로 이루어질 수 있습니다. 일반적으로는 화학적인 반응을 통해 세리아 입자를 형성합니다. 이 반응은 세리아 전구체와 산화제 또는 환원제 사이의 화학 반응을 통해 이루어집니다. 열분해법: 세리아는 열분해법을 사용하여 제조될 수도 있습니다. 이 과정에서 세리아 전구체가 고온에서 열분해되어 세리아 입자로 변화합니다. 이 방법은 입.. 2023. 6. 4. 이전 1 다음 728x90