728x90 CMP # PAD Conditioner1 CMP PAD conditioner CMP (Chemical Mechanical Polishing) PAD Conditioner는 CMP 공정에서 사용되는 3대 소모품이며 중요한 Tool입니다. 이 소모품은 CMP 패드 의 성능과 수명을 유지하고 개선하기 위해 사용됩니다. PAD Conditioner는 CMP 패드의 표면을 처리하여 적절한 마모 특성과 연마 성능을 유지하면서 고르고 균일한 표면을 유지합니다. PAD Conditioner는 주로 다이아몬드 입자나 강철 와이어를 사용하여 CMP 패드의 표면을 연마하는데 사용됩니다. 이러한 조건화 과정은 패드 표면의 정련, 미세한 표면 결속력 개선, 입자 제거, 표면 정밀도 향상 등을 목표로 합니다. PAD Conditioner의 주요 기능은 다음과 같습니다: 1) 패드 표면 클리닝: PAD C.. 2023. 5. 27. 이전 1 다음 728x90
