728x90 전체 글53 CMP Slurry 개요, 연마입자 종류, 조성 1. 슬러리(Surry)란? 고체입자가 액체에 섞여 있는 상태를 서스펜션 상태라 하며 이 상태를 CMP분야쪽에서 주로 쓰는 용어로 슬러리라고 표현을 함. 연마입자가 수계 액체에 분산되어 있는 상태를 말함 2. CMP 슬러리 연마 입자의 종류 실리카(SiO2), 세리아(CeO2), 알루미나(Al2O3)를 연마입자로 사용하며 수용액에 분산되어 있는 상태임. 연마입자의 크기는 수um~수nm 까지 다양하며 Fumed혹은 콜로이달 상태로 상태로 생성하며 입자의 형상에 따라 연마특성에 차이를 보임. Fumed는 액체 케미컬 상태로 분무하면서 태워주면서 형성되므로 포도송이처럼 고운 입자가 뭉치면서 생성되고 거친형태의 입자를 구성하여 연마성이 우수함. 콜로이달은 주로 둥근형태로 나노 사이즈를 구현할수 있음 3. CMP.. 2023. 5. 24. 이전 1 ··· 11 12 13 14 다음 728x90